【真空等離子設備】等離子體(Plasma)又稱物質第四態，區別于物質常見的固、液、氣三種存在形態。它是一種具有一定顏色的準中性電子流，是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。
在等離子狀態下脫離原子束縛的電子和原子，中性原子，分子和離子做無序運動，具有很高的能量，但整體顯中性。
高真空室內部的氣體分子被電能激化，被加速的電子互相碰撞使原子、分子的最外層電子被激化脫離軌道，生成離子或反應性比較高的自由基。
這樣生成的離子、自由基繼續相互碰撞和被電場加速，并與材料表面相互沖撞，破壞數微米深度的分子間原有的結合方式，削去孔內一定深度的表面物質形成微細凹凸，同時產生的氣體成分成為反應性官能基(或官能團)，它們誘導物質表面發生物理、化學變化，因此能夠除去鉆污從而能夠提高鍍銅的結合力。【常壓等離子設備】
在等離子體化學反應中，起到化學作用的粒子主要是正離子及自由基粒子。自由基在化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用，處于激發狀態的自由基具有較高的能量，易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基。
新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。
