真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分組成，能夠按照客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng)、真空室。真空等離子清洗機(jī)采用自動(dòng)化程度高的數(shù)控技術(shù)，采用高精度控制裝置，時(shí)間控制精度非常高
等離子清洗機(jī)是氣體分子在特殊情況下產(chǎn)生的物質(zhì)，如真空、放電等。用于產(chǎn)生等離子體的等離子體清潔/蝕刻裝置設(shè)置在密封容器中，因此等離子清洗機(jī)被廣泛應(yīng)用于表面脫脂清洗的等離子刻蝕、聚四氟乙烯(PTFE)和聚四氟乙烯混合物的刻蝕、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化清洗、等離子電鍍聚合等工藝，等離子清洗機(jī)也應(yīng)用于汽車電子、軍事電子和印刷電路板制造行業(yè)等高精度領(lǐng)域。
等離子清洗機(jī)通過(guò)兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，并使用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度。隨著氣體變得越來(lái)越稀薄，分子活動(dòng)或是分子間距和自由移動(dòng)距離也變得越來(lái)越長(zhǎng)。等離子清洗機(jī)在磁場(chǎng)的作用下，碰撞產(chǎn)生等離子體，同時(shí)發(fā)光。等離子體在電磁場(chǎng)空內(nèi)移動(dòng)，轟擊被處理物體的表面。去除表面油污和表面氧化物，灰化表面有機(jī)物等化學(xué)物質(zhì)，從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。選擇性表面改性可以通過(guò)等離子體處理工藝實(shí)現(xiàn)。
