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真空等離子清洗機在OLED領域的應用
2024.02.29
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真空等離子清洗機在OLED領域的應用:

  1. 基板清洗:OLED的基板通常是由玻璃或其他透明材料制成,表面必須非常干凈,以確保后續工藝的質量。真空等離子清洗機能夠有效地去除基板表面的有機殘留和微粒,為后續的涂層和薄膜沉積提供干凈的基底。

  2. 薄膜沉積前的準備:OLED器件中,多層薄膜的沉積是關鍵。每一層薄膜的質量和界面特性都直接影響到器件的性能。等離子清洗可以在薄膜沉積前,清潔和活化表面,從而提高薄膜的附著力和均勻性。

  3. 修復表面損傷:在生產過程中,基板表面可能會因為各種原因而產生微小的損傷。真空等離子清洗機不僅可以去除這些損傷表面的污染物,還可以通過其能量輸入,使表面得以修復,恢復其原有的平滑度和光學特性。

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真空等離子清洗機

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